| Name |
PCW (Process Cooling Water) System |
| Series | Others |
1) PCW의 일반적인 용도
생산장비에서 발생하는 장비의 열을 회수하는 SYSTEM으로, 냉각수는 CIRCULATION 된다.
2) SYSTEM의 구성
공정용 냉각수 계통은 생산설비에 공급되는 20℃ 고순도의 냉각수를 Circulation하는 System으로 잠시도 공급중단 되어서는 안되는 중요한 Utility이다.
생산설비마다 요구되는 수압이 각각 상이하여 고압(H.P)과 저압(L.P)으로 대별하여 운용하고 있다.
고압 및 저압 냉각수 공정은 동일하게 되어 있으며 각 생산장비에 공급한 냉각수는 장비의 열을 회수하여 25℃로 배출되며 Circulation Pump에 의해 고압계통, 저압계통 공급되며, Particle을 완전제거 하기 위하여 5 Micron Filter를 통과한 후 각 생산장비에 보내어 진다.
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