1) EXHAUST SYSTEM의 일반적인 용도
일반적으로 EXHAUST란 실내의 오염된 공기를 실외로 배기시키는 장치의 총칭을 말한다.
당 공장의 EXHAUST란 CLEAN ROOM의 각종 생산 장비에서 유독성 CHEMICAL을 사용하기 때문에 유독성 가스가 발생하게 되는데 이 가스가 CLEAN ROOM 실내로 유출된다면 생산에 종사하고 있는 사람들의 인체와 화재 발생 등 막대한 영향을 끼치게 되므로 이 유독성가스를 실외로 배기시키는것을 말한다. 또한, 정상적인 조업의 여건조성과 인체와 화재예방을 위하여 , 사용 CHEMICAL 종류에 따라 배기설비를 별도로 설치한다.
2) SYSTEM의 구성
① ORGANIC EXHAUST SYSTEM
- CLEAN ROOM 내부에서 발생되는 유기성용제 FUME을 옥외로 배출시킬때 법적 규제치 이내로 처리하여 배출시켜야 하므로, 배출된 유기성 CHEMICAL 등을 ACTIVATED CARBON에 흡착시켜 제거하고, CLEAN화 된 배기만을 방출시킨다.
- 유기용제 SYSTEM은 건물 옥상에 설치한다.
