ㆍ개요
CLEAN BENCH는 각종 실험실 , 연구실 , 병원 , 제약공장 , 반도체 조립등 국부적으로 고도의 청정도가 요구되는 곳에 범용적으로 사용되는 만능 TABLE입니다.
VERTICAL TYPE은 전면 상부에 슬라이딩 DOOR로서 기류 토출구를 줄여서 작업공간을 양압으로 유지하는 외부공기의 유입을 방지한다.
HORIZONTAL TYPE은 청정공기가 작업공간을 층류에 가까운 상태로 흘러 내부의 청정환경을 유지하는 형태로 전면이 개방되어 있으므로 작업성이 좋고 작업대 어느 곳에서 발진이 생기더라도 외부로 빠져 나가기 쉽도록 되어 있다.
ㆍ구조
CLEAN BENCH는 첨부 도면과 같은 구조로 되어 있으며 공통적으로 갖추어야 할 사항은 다음과 같다.
1) 장비 하부에 공기 순환용 팬이 내장되어 있고 측면(수평기류형) 또는 상부(수직 기류형)에 설치된 필터를 통하여 0.3 ~ 0.5 m/sec의 속도로 토출되는 청정공기가 작업대를 향하며,청정실 내의 외기가 장비하부의 팬 직전에 설치된 PRE FILTER 와 HEPA FILTER를 통해서 여과되어 토출되는 방식이어야 한다.
2) HEPA FILTER 설치부분은 공기 누설이 없는 구조이어야 한다.
3) CLEAN BENCH는 이동이 가능하도록 바퀴 등이 달려 있고 필요한 위치에 고정 시킬수 있는 구조이어야 한다.
4) 작업 공간에 적합한 조명도를 확보하기 위하여 조명 등을 달아야 한다.
5) 작업대에서 사용하는 전기 장비에 전원을 공급할 수 있는 콘센트를 설치하여야 한다.
6) 산, 유기용제, 생물인자 등을 취급할 경우에는 이것들이 포함된 공기가 소정의 경로를 통하여 청정실 외부로 배기가 가능한 구조이어야 한다.
7) CLEAN BENCH는 오염이 발생되지 않는 재질로 만들어져야 한다.
8) 작업대에 진동이 전달되는 것을 방지하기 위하여 작업대를 분리 할 수 있다.
9) HEPA FILTER의 교체 여부를 알기 위한 차압계가 부착되어야 한다.
10) 전면 셔터(SHUTTER)가 장착된 경우 쉽게 여닫을 수 있는 구조이어야 한다.
11) 보수 및 필터 교체가 쉬운 구조이어야 한다.
12) 발생소음은 65dB(A)이하를 원칙으로 한다. 단, 구체적 소음기준치는 구매자와 제작자의 약정에 따라 조정할 수 있다.
ILJIN ENG
Clean room manufacturer, Clean room system, Air conditioning and chilling system and more
Name |
Clean Bench |
Model | ICB-Series |
Series | Clean Room System |
Product Description
Products of ILJIN ENG
-
Air conditioning and Refrigeration System
-
Thermo Hygrostat System
Air conditioning and Refrigeration System
-
Dehumidifying System
Air conditioning and Refrigeration System
DC Series
-
Freezing & Refrigeration System
Air conditioning and Refrigeration System
-
GHP System
Air conditioning and Refrigeration System
-
Clean Room System
-
Basic Knowledge
Clean Room System
-
AHU
Clean Room System
IJAHU-Series
-
ACU
Clean Room System
IJE-CAU Series
-
FFU
Clean Room System
IJFFU-19
-
BFU
Clean Room System
IJBFU-30
-
HFU
Clean Room System
IJHFU-17
-
Relief Damper
Clean Room System
-
Air Curtain
Clean Room System
IJ-Series
-
Clean Booth
Clean Room System
IJCB-S-Series
-
Clean Bench
Clean Room System
ICB-Series
-
Pass Box
Clean Room System
IBP-W-Series
-
Air Shower
Clean Room System
A/S-Series
-
Fume Hood
Clean Room System
IJFH-01/02
-
Clean Locker
Clean Room System
IJCL-01/02/03/04
-
Clean Cabinet
Clean Room System
IJCC-01/02/03
-
Clean Cart
Clean Room System
-
Clean Container
Clean Room System
-
Clean Toilet
Clean Room System
-
크린룸도입시 고려사항 / 사용 및 유지방법
Clean Room System
-
Others
-
CDA (Clean Dry Air) System
Others
-
PV (Process Vacuum) System
Others
-
Gas System
Others
-
DI Water System
Others
-
Exhaust System (ACID)
Others
-
PCW (Process Cooling Water) System
Others
-
Exhaust System (Heat / Gen)
Others
-
Exhaust System (Organic)
Others
-
크린 반송
-
LCD 비접촉반송 및 세정
크린 반송
-
웨이퍼 반송 및 핸들링
크린 반송