1) GAS의 일반적인 용도
Purge용, 분위기용 등으로 대량 사용하고 있지만 N₂중의 불순물인 O₂는 산화막 생성으로 품질저하를 초래하므로 O₂, 수분 등을 각각 1ppm 이하로 제거할 필요가 있다.
2) SYSTEM의 구성
① ON SITE PLANT 또는 LN₂ (LIQUID NITROGEN)가스 저장설비를 갖추고 상설 가스 공급회사로부터 LN₂를 공급받아 사용하고, GAS 및 배관중의 부유물 등을 제거하기 위해 FILTER류를 설치하며, 제조회사 GAS 제조과정, 용기의 보관, 운송 교환 등에서 오염될 가능성 대비 및 초고순도 GAS가 요구될 때에는 정제기를 설치한다.
② LN₂가스 저장 설비는 YARD에 설치하며, 1차. 2차 FILTER는 기계실에 설치한다.
③ LN₂가스 저장 설비에서 기화된 GN₂의 공급압력은 7 ㎏/㎠으로 공급하며, 압력조절은 LN₂가스 저장 설비내에서 조정이 가능하다.
