1) EXHAUST SYSTEM의 일반적인 용도
일반적으로 EXHAUST란 실내의 오염된 공기를 실외로 배기시키는 장치의 총칭을 말한다.
당 공장의 EXHAUST란 CLEAN ROOM의 각종 생산 장비에서 유독성 CHEMICAL을 사용하기 때문에 유독성 가스가 발생하게 되는데 이 가스가 CLEAN ROOM 실내로 유출된다면 생산에 종사하고 있는 사람들의 인체와 화재 발생 등 막대한 영향을 끼치게 되므로 이 유독성가스를 실외로 배기시키는것을 말한다. 또한, 정상적인 조업의 여건조성과 인체와 화재예방을 위하여 , 사용 CHEMICAL 종류에 따라 배기설비를 별도로 설치한다.
2) 산배기 & TOXIC EXHAUST SYSTEM
- Fab내의 각종기기에서 발생되는 산가스를 Duct를 통하여 Blower로 Scrubber에 흡입한 후 Scrubber Tank에서 공급되는 Water를 Pump로 Scrubber에 투입하여 Water Spray 함으로써 산 가스의 농도를 감소 시킨후에 인체에 무해한 산 가스를 Stack을 통하여 대기에 방출시키는 System이다
- 산배기 SYSTEM은 건물 옥상에 설치한다.
