
| 사양 | 설명 |
| 스테이지면 크기 | 80X100 |
| 이동거리 | 8 |
| 이동방식 | Ball Screw Φ6 Lead1, Cross Roller Guide |
| 분해능 | 0.00072/Pulse(Full Step) |
| 최고 이송 속도 | 3.6mm/sec[5kHz] |
| 정도 | 50um |
| 단일-반복정밀도 | ±1um |
| 다중-반복정밀도 | ±2um |
| 상하흔들림정도 | 0.03" |
| 좌우흔들림정도 | 0.01" |
| 평행도(mm) | 0.05" |
| 주행 평행도(mm) | 0.02" |
| 진직도(mm) | 0.008 |
| 내하중(Kg) | 10 |
| 모터 형번 | PK545NB(5P STEP) |
| 하중(Kg) | 2 |
| 드라이버 형번 | DFC5107-P |
| 센서 형번 | 1원점 센서, 2 제한 센서 |
| 케이블 연결선 | HR-10A-10J-12P |

| 사양 | 설명 |
| 스테이지면 크기 | 120X120 |
| 이동거리 | 12 |
| 이동방식 | Ball Screw Φ8 Lead1, Cross Roller Guide |
| 분해능 | 0.00072/Pulse(Full Step) |
| 최고 이송 속도 | 3.6mm/sec[5kHz] |
| 정도 | 50um |
| 단일-반복정밀도 | ±1um |
| 다중-반복정밀도 | ±2um |
| 상하흔들림정도 | 0.03" |
| 좌우흔들림정도 | 0.03" |
| 평행도(mm) | 0.02" |
| 주행 평행도(mm) | 0.02" |
| 진직도(mm) | 0.008 |
| 내하중(Kg) | 20 |
| 모터 형번 | PK545NB(5P STEP) |
| 하중(Kg) | 3.6 |
| 드라이버 형번 | DFC5107-P |
| 센서 형번 | 1원점 센서, 2 제한 센서 |
| 케이블 연결선 | HR-10A-10J-12P(HRS) |

| 사양 | 설명 |
| 스테이지면 크기 | 200X200 |
| 이동거리 | 20 |
| 이동방식 | Ball Screw Φ8 Lead1, Cross Roller Guide |
| 분해능 | 0.00072/Pulse(Full Step) |
| 최고 이송 속도 | 3.6mm/sec[5kHz] |
| 정도 | 50um |
| 단일-반복정밀도 | ±1um |
| 다중-반복정밀도 | ±2um |
| 상하흔들림정도 | 0.03" |
| 좌우흔들림정도 | 0.03" |
| 평행도(mm) | 0.02" |
| 주행 평행도(mm) | 0.02" |
| 진직도(mm) | 0.008 |
| 내하중(Kg) | 25 |
| 모터 형번 | PK545NB(5P STEP) |
| 하중(Kg) | 3.6 |
| 드라이버 형번 | DFC5107-P |
| 센서 형번 | 1원점 센서, 2 제한 센서 |
| 케이블 연결선 | HR-10A-10J-12P(HRS) |

| 사양 | 설명 |
| 스테이지면 크기 | 300X300 |
| 이동거리 | 30 |
| 이동방식 | Ball Screw Φ8 Lead1, Cross Roller Guide |
| 분해능 | 0.00072/Pulse(Full Step) |
| 최고 이송 속도 | 3.6mm/sec[5kHz] |
| 정도 | 50um |
| 단일-반복정밀도 | ±1um |
| 다중-반복정밀도 | ±2um |
| 상하흔들림정도 | 0.03" |
| 좌우흔들림정도 | 0.03" |
| 평행도(mm) | 0.02" |
| 주행 평행도(mm) | 0.02" |
| 진직도(mm) | 0.008 |
| 내하중(Kg) | 27 |
| 모터 형번 | PK545NB(5P STEP) |
| 하중(Kg) | 3.6 |
| 드라이버 형번 | DFC5107 |
| 센서 형번 | 1원점 센서, 2 제한 센서 |
| 케이블 연결선 | HR-10A-10J-12P(HRS) |

| 사양 | 설명 |
| 스테이지면 크기 | 400X400 |
| 이동거리 | 40 |
| 이동방식 | Ball Screw Φ8 Lead1, Cross Roller Guide |
| 분해능 | 0.00072/Pulse(Full Step) |
| 최고 이송 속도 | 3.6mm/sec[5kHz] |
| 정도 | 50um |
| 단일-반복정밀도 | ±1um |
| 다중-반복정밀도 | ±2um |
| 상하흔들림정도 | 0.03" |
| 좌우흔들림정도 | 0.03" |
| 평행도(mm) | 0.02" |
| 주행 평행도(mm) | 0.02" |
| 진직도(mm) | 0.008 |
| 내하중(Kg) | 35 |
| 모터 형번 | PK545NB(5P STEP) |
| 하중(Kg) | 3.6 |
| 드라이버 형번 | DFC5107-P |
| 센서 형번 | 1원점 센서, 2 제한 센서 |
| 케이블 연결선 | HR-10A-10J-12P(HRS) |