| 사양 | 설명 |
| 스테이지면 크기 | 40X40 |
| 이동거리 | ±6˚ |
| 이동방식 | Worm Gear(1/267), Cross Roller |
| 분해능 | 0.0027˚/Pulse(Full Step) |
| 최고 이송 속도 | 13.5˚/sec[5kHz] |
| 정도 | ±0.005˚ |
| 단일-반복정밀도 | ±1um |
| 다중-반복정밀도 | ±2um |
| 상하흔들림정도 | 25" |
| 좌우흔들림정도 | 20" |
| 평행도(mm) | 0.02" |
| 주행 평행도(mm) | 0.01" |
| 진직도(mm) | 0.005 |
| 내하중(Kg) | 3 |
| 모터 형번 | PMM33BH2-C49(5P STEP) |
| 하중(Kg) | 0.4 |
| 드라이버 형번 | DFC5107-P |
| 센서 형번 | 1원점 센서, 2 제한 센서 |
| 케이블 연결선 | HR-10A-10J-12P(HRS) |
| 사양 | 설명 |
| 스테이지면 크기 | 60X60 |
| 이동거리 | ±5˚ |
| 이동방식 | Worm Gear(1/294), Cross Roller |
| 분해능 | 0.0025/Pulse(Full Step) |
| 최고 이송 속도 | 12.5˚/sec[5kHz] |
| 정도 | ±0.005˚ |
| 단일-반복정밀도 | ±1um |
| 다중-반복정밀도 | ±2um |
| 상하흔들림정도 | 25" |
| 좌우흔들림정도 | 20" |
| 평행도(mm) | 0.02" |
| 주행 평행도(mm) | 0.01" |
| 진직도(mm) | 0.005 |
| 내하중(Kg) | 5 |
| 모터 형번 | PMM33BH2-C49(5P STEP) |
| 하중(Kg) | 0.5 |
| 드라이버 형번 | DFC5107-P |
| 센서 형번 | 1원점 센서, 2 제한 센서 |
| 케이블 연결선 | HR-10A-10J-12P(HRS) |
| 사양 | 설명 |
| 스테이지면 크기 | 40X40 |
| 이동거리 | ±6˚ |
| 이동방식 | Worm Gear(1/267), Cross Roller |
| 분해능 | 0.0027˚/Pulse(Full Step) |
| 최고 이송 속도 | 13.5˚/sec[5kHz] |
| 정도 | ±0.005˚ |
| 단일-반복정밀도 | ±1um |
| 다중-반복정밀도 | ±2um |
| 상하흔들림정도 | 25" |
| 좌우흔들림정도 | 20" |
| 평행도(mm) | 0.02" |
| 주행 평행도(mm) | 0.01" |
| 진직도(mm) | 0.005 |
| 내하중(Kg) | 3 |
| 모터 형번 | PMM33BH2-C49(5P STEP) |
| 하중(Kg) | 0.4 |
| 드라이버 형번 | DFC5107-P |
| 센서 형번 | 1원점 센서, 2 제한 센서 |
| 케이블 연결선 | HR-10A-10J-12P(HRS) |
| 사양 | 설명 |
| 스테이지면 크기 | 60X60 |
| 이동거리 | ±5˚ |
| 이동방식 | Worm Gear(1/294), Cross Roller |
| 분해능 | 0.0025/Pulse(Full Step) |
| 최고 이송 속도 | 12.5˚/sec[5kHz] |
| 정도 | ±0.005˚ |
| 단일-반복정밀도 | ±1um |
| 다중-반복정밀도 | ±2um |
| 상하흔들림정도 | 25" |
| 좌우흔들림정도 | 20" |
| 평행도(mm) | 0.02" |
| 주행 평행도(mm) | 0.01" |
| 진직도(mm) | 0.005 |
| 내하중(Kg) | 5 |
| 모터 형번 | PMM33BH2-C49(5P STEP) |
| 하중(Kg) | 0.5 |
| 드라이버 형번 | DFC5107-P |
| 센서 형번 | 1원점 센서, 2 제한 센서 |
| 케이블 연결선 | HR-10A-10J-12P(HRS) |
