제품개요
300mm Wafer Stocker는 Wafer Sorting 및 Stock 기능을 통합한 신개념의 Wafer Collecting System으로 Process 장비 또는 측정장비의 전, 후에 위치하여 제품의 등급에 따라 분류, 저장, 공급등의 기능을 수행하여 공정의 흐름을 원할히 해주는 장비이다.
(500~2500장 대용량 Wafer 처리능력, Customized Product)
SPECIFICATION
- Semi Standard Compliance
- Rapid Robot 채용으로 Throughput 향상
- Bluecord FFU & Monitoring System 적용
- Class 1 Mini Environment 구성
- High Precision OCR
- Bluecord Pre-Aligner 채용
- System의 전 상황을 파악할 수 있는 GUI -Based Operation S/W
- Communications: SECS I / SECS II / GEM
