| WAFER SORTER 200 | 제품개요 | SPECIFICATION |
| Wafer Sorter 200은 200mm 반도체 공장에서 Wafer Aligning 및 ID Reading후, 각 Recipe에 의해 Wafer를 원하는 위치로 Sorting 하는 기능의 장비이다. | - Semi Standard Compliance - 2~6 Cassette Stage (Customized Product) - Bluecord's Wafer Pre-Aligner - Wafer Transfer Robot (Vacuum Type) - Wafer ID Reader (Front & Back side) - Easy Operating & Maintenance |
| WAFER SORTER 300 | 제품개요 | SPECIFICATION |
| Wafer Sorter 300은 300mm 반도체 공장에서 Wafer Aligning 및 ID Reading후, 각 Recipe에 의해 Wafer를 원하는 위치로 Sorting 하는 기능의 장비이다. | - Semi Standard Compliance - 2~4 Load Port in Front (Customized Product) - Wafer Transfer Robot (Vacuum or Edge Grip Hand) - Bluecord's Wafer Pre-Aligner & FFU - Front & Back Side Wafer ID Reading - Easy Operating & Maintenance - OHT & AGV Available - Color Touch Screen - Communications : SECS I / SECS II / GEM |
