제품개요
LCD 공정 전반에 걸쳐 Panel을 Cassette에서 LCD Panel을 공정 장비로 Loading하거나, Cassette로 Unloading 하기 위한 설비이다.
SPECIFICATION
- Single Arm Robot 또는 Double Arm Robot 적용
- Cassette를 AGV 또는 MGV로 적치 가능한 2식 4식의 Cassette Stage
- 기판 Search 기능 (Glass Mapping Device or Elevator)
- 비접촉시 Alignment 기능 (Mechaless alignment)
- Bar Code or RFID Reader
- AGV Communication
- Ionizing System
- FFU (Fan Filter Unit)