- LED,디스플레이,반도체 등의 제조에 많이 사용되는 E-Beam 증착장비
- 박막태양전지제조에 사용되는 CIGS 증착용 장비
- 고온에서 화합물형태의 나노박막 증착에 사용되는 MBE 장비
Name |
Thermal System |
Series | Vacuum System |
- LED,디스플레이,반도체 등의 제조에 많이 사용되는 E-Beam 증착장비
- 박막태양전지제조에 사용되는 CIGS 증착용 장비
- 고온에서 화합물형태의 나노박막 증착에 사용되는 MBE 장비
Vacuum Components
Vacuum Components
AEC-500/1300/1600-Series
Vacuum Components
SIP/Mini IP-Series
Vacuum Components
Vacuum System
Vacuum System
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AEC-500/1300/1600-Series
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ALPS SS/CS/PS/CT Series
Vacuum System
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EB-Series
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