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Alpha-Plus

Vacuum component, Vacuum system, E-cell, Sputter, E-beam, MBE and more
Name

E-Beam System

Model EB-Series
Series Vacuum System
Product Description

효율적인 연구개발용 System
고객의 요청에 의한 Layout 구성 가능



-  구       성     Pre-Treatment, Organic, Metal, Encapsulation Unit
-  특       징     기판 Size : 100mm * 100mm ~ 150mm * 150mm
            Mechancal Align Unit
            Alpha-plus의 양산 기술로 제작된 Source 사용
-  적용분야     OLED Device 제작, 물질 개발