Alpha-Plus

Vacuum component, Vacuum system, E-cell, Sputter, E-beam, MBE and more

Name	Sputter Gun
Series	Vacuum Components

Product Description

태양전지, 디스플레이(LCD,OLED), 반도체, 광학필터 등의 제조에 사용되는 핵심 증착소스 중에 하나로 대부분 금속 및 무기물 박막제조에 사용.

응용시장에 따라 다양한 형태(원형, 사각, 실린더)로 제작 가능

다른 펌프와 조합으로 초고진공에 도달 및 유지을 위한 펌프로 하기 위한 펌프로 다양한 용량으로 개발되어 있음.

특히 미니 이온펌프는 휴대용 가스 분석기 등에 응용하기 위해 개발됨

Products of Alpha-Plus

Sputter Gun