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Alpha-Plus

Vacuum component, Vacuum system, E-cell, Sputter, E-beam, MBE and more
Name

MBE System

Model AEC-500/1300/1600-Series
Series Vacuum System
Product Description

OLED Device 제작 및 재료 연구에 최적화 된 System

R&D 및 PP, MP line 적용가능

고객의 요청에 의한 다양한 Layout 구성


구 성
  · Loadlock, Pre-Treatment, Organic, Metal, Transfer, Buffer, Encapsulation Unit

특 징
  · 기판 Size : 200mm * 200mm ~
  · Auto Align Unit
  · Mechanical Align
  · Alpha-plus의 양신 기술로 제작된 Source 사용

적용 분야
  · OLED, Micro Display 등의 Device 제작