- LED,디스플레이,반도체 등의 제조에 많이 사용되는 E-Beam 증착장비
- 박막태양전지제조에 사용되는 CIGS 증착용 장비
- 고온에서 화합물형태의 나노박막 증착에 사용되는 MBE 장비
| Name | 
                                Thermal System | 
                        
| Series | Vacuum System | 
- LED,디스플레이,반도체 등의 제조에 많이 사용되는 E-Beam 증착장비
- 박막태양전지제조에 사용되는 CIGS 증착용 장비
- 고온에서 화합물형태의 나노박막 증착에 사용되는 MBE 장비
                                    Vacuum Components
                                    Vacuum Components
AEC-500/1300/1600-Series
                                    Vacuum Components
SIP/Mini IP-Series
                                    Vacuum Components
                                    Vacuum System
                                    Vacuum System
                                    Vacuum System
AEC-500/1300/1600-Series
                                    Vacuum System
ALPS SS/CS/PS/CT Series
                                    Vacuum System
                                    Vacuum System
EB-Series
                                    Vacuum System