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Alpha-Plus

Vacuum component, Vacuum system, E-cell, Sputter, E-beam, MBE and more
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Name

OMBD System
Series Vacuum System
Product Description

OLED 조명용 Device 제작에 적합

R&D 및 PP, MP line 적용 가능

고객의 요청에 의한 다양한 Layout 구성 가능



-  구       성     Loadlock, Pre-Treatment, Organic & Metal, Mask Stock등
-  특       징     기판 Size : 370mm * 470mm ~
            Mechanical Align Unit
            Alpha-plus의 양산 기술로 제작된 Source 사용
-  적용 분야     OLED, Display 제작

Products of Alpha-Plus