OLED Device 제작 및 재료 연구에 최적화 된 System
R&D 및 PP, MP line 적용가능
고객의 요청에 의한 다양한 Layout 구성
    
  
    
      구 성
    
  
    
        · Loadlock, Pre-Treatment, Organic, Metal, Transfer, Buffer, Encapsulation Unit
    
  
    
      
    
  
    
      특 징 
    
  
    
        · 기판 Size : 200mm * 200mm ~
    
  
    
        · Auto Align Unit
    
  
    
        · Mechanical Align
    
  
    
        · Alpha-plus의 양신 기술로 제작된 Source 사용
    
  
    
      
    
  
    
      적용 분야 
    
  
    
        · OLED, Micro Display 등의 Device 제작