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Blue Cord

Semi conductor equipment manufacturer, Central monitoring system, Semi conductor process equipment, Multimedia equipment and more
Name

Wafer Stocker

Series Semiconductor Equipment
Product Description

제품개요
300mm Wafer Stocker는 Wafer Sorting 및 Stock 기능을 통합한 신개념의 Wafer Collecting System으로 Process 장비 또는 측정장비의 전, 후에 위치하여 제품의 등급에 따라 분류, 저장, 공급등의 기능을 수행하여 공정의 흐름을 원할히 해주는 장비이다.
(500~2500장 대용량 Wafer 처리능력, Customized Product)

SPECIFICATION
- Semi Standard Compliance
- Rapid Robot 채용으로 Throughput 향상
- Bluecord FFU & Monitoring System 적용
- Class 1 Mini Environment 구성
- High Precision OCR
- Bluecord Pre-Aligner 채용
- System의 전 상황을 파악할 수 있는 GUI -Based Operation S/W
- Communications: SECS I / SECS II / GEM