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Blue Cord

Semi conductor equipment manufacturer, Central monitoring system, Semi conductor process equipment, Multimedia equipment and more
Name

Reticle & Mask Stocker

Series Semiconductor Equipment
Product Description

제품개요
반도체 노광 공정에서 Reticle을 청정 환경에서 보관하고 컴퓨터 시스템으로 입출력 및 이력 관리를  수행하는 장비이다.

SPECIFICATION
- 사용자 ID가 부여되어야만 입, 출고 가능
- Class 1 Cleanroom Compatible
- 수평 Air Flow로 Particle 오염 최소화
- Small Footprint로 협소환 공간에 적용 용이
- 제품 입,출고 시 사용자명과 해당날짜 자동기록
- 제품 ID를 입력하여 사용처의 Quick Searching 기능
- Cassette 입 출력 및 저장 위치를 쉽게 확인할 수 있는 User Friendly Based GUI