Wafer가 장착된 Quartz Holder의 주변에 진공상태를 만들고 열을 가하여 분위기를 Uniform 하는 Annealing System 이다.
Seoul Vacuum Tech
Vacuum equipment manufacturer, Vacuum pump, Cold cathode, Lamp, Accessories
| Name |
Annealing System |
| Series | System |
Product Description
